2017第八屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)在蘇州舉辦納米能源材料產(chǎn)業(yè)化論壇等15個(gè)專業(yè)會(huì)議,規(guī)劃了約200個(gè)行業(yè)報(bào)告,邀請(qǐng)了21名國(guó)內(nèi)外院士,設(shè)立了中國(guó)納米智慧生活展等5個(gè)主題展區(qū),展區(qū)面積達(dá)13000平方米,展出1300多件納米技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)品。上海巨納參加本屆納博會(huì)。上海巨納合作伙伴瑞士LYNCEE TEC數(shù)字全息顯微鏡產(chǎn)品在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行了展示。
瑞士Lyncee Tec SA公司的數(shù)字全息顯微鏡“DHM(Digital Holographic Microscopy)是劃時(shí)代性的高科技技術(shù)產(chǎn)品,科學(xué)史上第一次, 數(shù)字全息顯微鏡可以直接觀測(cè)到納米尺度的分辨率,即時(shí)得到樣品三維型貌,并且是無(wú)接觸式的無(wú)損測(cè)量。DHM 1000 Family將波長(zhǎng)630nm的半導(dǎo)體激光分成照射到試料的光和參照光兩部分來(lái)使用。共包括兩大品種,一種是試料反射光與參照光進(jìn)行干涉的“R1000 series”,另一種是試料透過光與參照光進(jìn)行干涉的“T1000 series”。照射到試料上的光線與參照光產(chǎn)生的干涉圖案使用CCD相機(jī),作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)保存下來(lái),由此算出三維數(shù)據(jù)。計(jì)算三維數(shù)據(jù)時(shí)使用的是專用軟件“Koala Software”。
其主要應(yīng)用是在MEMS研發(fā)中用于測(cè)量工作,以及在生產(chǎn)線用于缺陷檢測(cè)。與上述用途中現(xiàn)在經(jīng)常使用的共焦顯微鏡相比,在同樣分辨率下能夠更高速地進(jìn)行測(cè)量。垂直方向的分辨率為0.6nm,水平方向?yàn)?span>200nm~300nm(取決于物鏡)。使用1.25倍率的物鏡時(shí)視野為4mm×4mm,可以15視野/秒的速度進(jìn)行測(cè)量。因此,1cm見方的試料幾分鐘即可完成觀察。使用現(xiàn)有共焦顯微鏡時(shí),同等范圍的觀察則需要幾個(gè)小時(shí)~10小時(shí)。 此次的產(chǎn)品最大可將觀察速度擴(kuò)展至1萬(wàn)視野/秒。由于攝影速度快,因此不需除震臺(tái),可用來(lái)檢測(cè)流水線上的產(chǎn)品。
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