研究級全自動橢偏儀UVISEL 2
UVISEL2是一款完全革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發展了經典機型UVISEL的高準確性、高靈敏度和高穩定性等技術特點的同時,配備革新的可視系統,多達8個尺寸微光斑選項,最小達35×85μm2,適用于所有薄膜材料研究領域。是目前市場上獨一無二的機型。
產品特點:
完全自動化設計,自動對焦、校正
全新光路、電路設計,測量精度更高,速度更快
50KHz高頻PEM相調制技術,測量光路中無運動部件
雙光柵光譜儀系統,雜散光抑制水平高
8個尺寸微光斑,專利可視技術
自動平臺樣品掃描成像
自動量角器:變角范圍35°- 90°,全自動調整,最小步長0.01°