HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG用優質導電環氧樹脂粘在一個12毫米金屬圓盤上,并將其用作裝運的材料。
技術資料 |
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橫向尺寸 |
幾何結構 |
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5*5mm |
在1*1mm平方內排列間距為10um的方形孔柱 在500*500um平方內XY方向排列間距為5um的圓形孔柱 |
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臺階高度 |
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HS-20MG |
~20nm |
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HS-100MG |
~100nm |
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HS-500MG |
~500nm |
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每個校準片盒子標簽上都標有明確數值 |
為什么需要XYZ標定校準?
為了使原子力顯微鏡更精準的測量,必須進行正確校準。因此,更精確的校準標準才能實現原子力顯微鏡更好的測量結果。在這方面,校準的標定標準允許原子力顯微鏡系統的最精確校準。
我們的解決方案:
CS-20NG是一種先進的XYZ標定校準,使校準精度降低到納米級。它的特點是在一個5*5mm的硅芯片上陣列二氧化硅結構。確保整個芯片結構有良好的均勻性。反之,又確保了方便可靠的校準原子力顯微鏡的XYZ三方向的精度。
校準區域位于芯片的中心,使用原子力顯微鏡的光學系統很容易找到。
臺階高度在20nm范圍內,每一個芯片的精確值都標識在盒子標簽上。
芯片上集成了不同形狀和間距的結構陣列。在1*1mm的大區域內包含了間距為10um的方柱孔。在中區域內包含了XY方向間距為5um的圓柱形孔。在小區域內500nm間距的圓形孔。
CS-20NG適用于橫向和縱向的AFM掃描校準。校準片的結構對稱性使得校準原子力顯微鏡時不需要旋轉和調整校準片XY刻度的方向。CS-20NG用優質導電環氧樹脂粘在一個12毫米金屬圓盤上,并將其用作裝運的材料。
技術資料 |
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橫向尺寸 |
幾何機構 |
5*5mm |
在1*1mm平方內排列間距為10um的方形孔柱 在500*500um平方內XY方向排列間距為5um的圓形孔柱 在100*100um平方內分布著間距為500nm的圓形孔 |
臺階高度 |
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20nm |
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每個校準片盒子標簽上都標有明確數值 |