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技術指標
l 能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s ）
l 最小分析區域（收譜） <10μm
l 空間分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm；空間分辨率(掃描成像): 15μm 和27μm
功能及特性
l 主要用于各種無機和有機固體材料的表面元素或其價態的定性和定量分析，表面元素的化學成像及深度剖析。
l 可用于腐蝕、摩擦、浸潤、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面過程的研究。
